目前各廠家GC進(jìn)樣口主要有填充柱進(jìn)樣口、分流/不分流柱進(jìn)樣口、PTV (溫度可編程蒸發(fā)進(jìn)樣口) 、VI (揮發(fā)物接口) 、COC(冷柱頭進(jìn)樣口) 、氣體進(jìn)樣閥接口 (氣體樣品)等多種進(jìn)樣口類型以及ALS(自動(dòng)進(jìn)樣器) 、頂空進(jìn)樣、吹掃捕集進(jìn)樣等進(jìn)樣附件。其中主要以填充柱進(jìn)樣口、分流/不分流柱進(jìn)樣口應(yīng)用最廣，填充柱進(jìn)樣口主要在老的標(biāo)準(zhǔn)方法以及氣體分析、大體積進(jìn)樣分析等應(yīng)用中常用，目前主流的進(jìn)樣口主要為分流/不分流柱進(jìn)樣口，由于其分析要求一般比較高（如農(nóng)殘分析等），維護(hù)工作尤其重要，如維護(hù)不到位，其分析結(jié)果差異較大。

以下主要講述填充柱和分流/不分流柱進(jìn)樣口的維護(hù)保養(yǎng)，兩者差異不大，具有一定的通用性。

1、隔墊：

主要起到密封進(jìn)樣、清洗進(jìn)樣針的作用，一般隔墊可達(dá)到一百次進(jìn)樣以上壽命，不同廠家不同材質(zhì)壽命不一，如Agilent BTO（經(jīng)溫度與流失處理）隔墊可達(dá)400次以上壽命，而紅色硅膠隔墊一般為一百次。如發(fā)現(xiàn)進(jìn)樣口壓力下降，可檢查是否隔墊磨損嚴(yán)重，密封性變差，必要時(shí)更換。隔墊碎屑可導(dǎo)致本底升高，還有可能污染襯管、堵塞色譜柱，應(yīng)經(jīng)常更換，不必等到非換不可的程度。很多色友在安裝更換隔墊一般擰得過(guò)緊，這樣會(huì)導(dǎo)致隔墊過(guò)于收縮、變硬，進(jìn)樣時(shí)隔墊容易產(chǎn)生碎屑，壽命大幅下降，一般以不漏氣稍緊一些即可。

2、襯管：

襯管在GC中主要起到樣品汽化室的作用，樣品在襯管中汽化并被帶入氣相中，有去活和不去活之分，也有分流/不分流、不分流、分流、直接進(jìn)樣、直接連接、聚焦、PTV等多種之分。不定期更換或未正確使用會(huì)導(dǎo)致峰形變差、溶質(zhì)歧視、重現(xiàn)性差、樣品分解、出現(xiàn)鬼峰等結(jié)果。襯管的維護(hù)保養(yǎng)主要是清洗、硅烷化和合理使用玻璃棉。

1)一般清洗主要用純水、甲醇或無(wú)水乙醇等沖洗或超聲清洗，污染嚴(yán)重可用棉簽輕輕擦拭，不可用力過(guò)度，避免破壞內(nèi)表面產(chǎn)生活性點(diǎn)，然后放置到烘箱70度烘干后干燥冷卻密封存放即可。

2)硅烷化是消除載體表面活性最有效的辦法之一。它可以消除載體表面的硅醇基團(tuán)，減弱生成氫鍵作用力，使表面惰化。一般的方法是用5~8%硅烷化試劑的甲苯溶液浸泡或回流1個(gè)小時(shí)以上，然后用無(wú)水甲醇洗至中性，烘干備用。常用的硅烷化試劑有二甲基二氯硅烷(DMCS)、三甲基氯硅烷(TMCS)和六甲基二硅氨烷(HMDS)。以DMCS的硅烷化效果最好，HMDS其次，TMCS較差。

3)玻璃棉的使用。在大部分的實(shí)際應(yīng)用中，通常可以在襯管里面填充一定量的玻璃棉以增加樣品的汽化效率，同時(shí)還可以起到防止隔墊碎屑堵塞色譜柱的作用，但是如果玻璃棉未經(jīng)去活或斷點(diǎn)較多，會(huì)使得活性點(diǎn)增加，會(huì)起到反作用。以下應(yīng)用不推薦使用玻璃棉：酚類、有機(jī)酸類、農(nóng)藥類、胺類、濫用藥物類、反應(yīng)性極性化合物類、熱不穩(wěn)定化合物等。

4)金屬密封墊（分流/不分流平板）：密封和限流等作用，有純銅、不銹鋼、鍍金等材質(zhì)，以鍍金最好。定期或按需檢查，有污染情況可卸下用純水或有機(jī)溶劑超聲清洗，可用棉簽輕柔擦拭表明，不可用硬物劃傷上表面。

5)色譜柱密封墊：密封色譜柱與襯管連接處作用。一般為純石墨、特氟隆、金屬、按比例添加Vespel或100%Vespel等物質(zhì)。純石墨材質(zhì)一般都是一次性使用，如果密封效果還可以，也可多次使用。其他材質(zhì)可多次使用，以密封不漏氣為準(zhǔn)。

色譜柱在色譜系統(tǒng)中主要起到分離的作用。氣相色譜柱有多種類型。從不同的角度出發(fā)，可按色譜柱的材料、形狀、柱內(nèi)徑的大小和長(zhǎng)度、固定液的化學(xué)性能等進(jìn)行分類。這里我主要就填充柱和毛細(xì)管柱的常規(guī)保養(yǎng)維護(hù)講述。

1、老化：

1)填充柱：

新制備的填充柱在使用前必須經(jīng)過(guò)老化處理，以便把柱內(nèi)的殘存溶劑、低分子量固定液以及低沸點(diǎn)雜質(zhì)除去，使固定液在載體表面涂得更均勻牢固。老化的方法比較簡(jiǎn)單: 在室溫下將色譜柱的入口端與進(jìn)樣器相連結(jié)。為了避免污染，出口端與檢測(cè)器斷開(kāi)。然后接通載氣，調(diào)節(jié)載氣流速10～20毫升/分，再以程序升溫的方式緩慢將柱溫升至比使用溫度高20℃，并在此溫度下老化4～8 h。注意，老化溫度不能高于固定液允許的最高使用溫度。如果使用氫氣作載氣，還應(yīng)注意將出口端流出的氫氣引出室外。老化處理后，將柱溫降至室溫，把色譜柱出口端與檢測(cè)器相連結(jié)，在分析條件下觀察基線。若能獲得平穩(wěn)的基線，說(shuō)明色譜柱已經(jīng)老化合格，一般即可進(jìn)行正式分析試驗(yàn)。日常老化可不必?cái)嚅_(kāi)檢測(cè)器，老化時(shí)間也可酌情減少。

2)毛細(xì)管柱：

通用老化程序可在比最高分析溫度高20℃或最高柱溫（溫度更低者）的條件下老化柱子2h，如果在高溫10min后背景不下降，立即將柱子降溫并檢查柱子是否有泄漏；如果用Vespel密封墊圈的話，老化完后重新檢查密封程度；注射非保留物質(zhì)以確定合適的平均線速度。也可采用程升溫度老化，一般可用慢升快降原則，50度下以5度/分鐘升到最高限溫下20度，恒溫30分鐘，20度/分鐘下降到50度，如此循環(huán)3個(gè)來(lái)回即可。

2、清洗：

通常情況下不建議清洗色譜柱，除非嚴(yán)重污染，經(jīng)老化效果不明顯情況下可以對(duì)鍵合交聯(lián)固定相的毛細(xì)管色譜柱進(jìn)行。清洗色譜柱可采用色譜柱沖洗裝置把溶劑注入色譜柱，該裝置接有一個(gè)有壓力的氣源上（氦氣或氮?dú)猓焉V柱插到?jīng)_洗裝置中，把溶劑加入樣品瓶里，往溶劑瓶中施加壓力，把溶劑壓到毛細(xì)管色譜柱里，殘留物溶解到溶劑中，然后用溶劑把它反吹出色譜柱，再用容積吹掃色譜柱，并把色譜柱進(jìn)行適當(dāng)?shù)睦匣幚怼Ｔ跊_洗色譜柱之前，把它切去半米（即靠近進(jìn)樣口一端），把連接檢測(cè)器的一端插入溶劑沖洗裝置，常使用多種溶劑沖洗色譜柱，后面繼續(xù)使用的溶劑必須要和前一種溶劑互溶，一定不要使用高沸點(diǎn)溶劑，特別是最后使用的溶劑，溶解樣品的溶劑常常是最佳的選擇。決多數(shù)情況下建議使用甲醇、二氯甲烷和己烷。丙酮是二氯甲烷的代替品（在避免使用含氯溶劑時(shí)），但是二氯甲烷是一種最好的沖洗溶劑，如果注射的是水性樣品（如生物液體和組織），在使用甲醇以前要用水來(lái)沖洗，一些源于水性樣品的殘留物只能溶解在水中而不溶于有機(jī)溶劑。應(yīng)當(dāng)使用水和醇類（如甲醇、乙醇和異丙醇）沖洗鍵和聚乙二醇為基的固定相（如DB-WAX、DB-WAXet、HP-Innowax），只作為最后使用的溶劑。

大多數(shù)檢測(cè)器都需要簡(jiǎn)單的維護(hù)，以保持最佳性能。對(duì)于高靈敏度的檢測(cè)器尤其如此。沒(méi)有日常的維護(hù)，GC系統(tǒng)性能降低并能引起檢測(cè)器失效。下面就常用的TCD、FID、ECD、NPD、FPD、MSD等幾種檢測(cè)器維護(hù)進(jìn)行詳解。

1)TCD檢測(cè)器:TCD檢測(cè)器比較兩路氣體——純載氣（也稱作參比氣）和載氣加樣品組分（也稱作柱流出氣）的熱導(dǎo)率。主要維護(hù)工作為熱絲維護(hù)和熱導(dǎo)池維護(hù)。

熱絲維護(hù)：TCD的主要維護(hù)包括熱絲的維護(hù)。大多數(shù)步驟包括延長(zhǎng)熱絲壽命或確保熱絲不被損壞或污染。

氧氣的持續(xù)存在會(huì)通過(guò)氧化作用永久地?fù)p壞熱絲。最常見(jiàn)的氧氣來(lái)源是載氣或尾吹氣中較高的氧氣含量，或靠近檢測(cè)器處的泄漏。推薦在載氣和尾吹氣氣路中使用氧氣捕集阱以降低氧氣水平。正確的柱安裝技術(shù)和定期檢漏（特別是安裝色譜柱之后）有助于最大限度地避免泄漏問(wèn)題的發(fā)生。

當(dāng)熱絲電流較高時(shí)，氧氣所引起的損壞將更加嚴(yán)重?；瘜W(xué)活性樣品組分，如酸和鹵代化合物可能損壞熱絲。盡可能避免這些化合物將延長(zhǎng)熱絲壽命。當(dāng)TCD不使用時(shí)，關(guān)閉或大大降低熱絲電流也可延長(zhǎng)熱絲壽命。

延長(zhǎng)熱絲壽命：若遵循以下啟動(dòng)程序，將延長(zhǎng)熱絲壽命。

a.熱絲接通電源之前，用載氣和尾吹氣吹掃檢測(cè)器10-15min。這樣可避免熱絲因氧氣存在而被氧化，因?yàn)闊o(wú)氣流條件下氧氣已經(jīng)擴(kuò)散到了熱導(dǎo)池內(nèi)。

b.在盡可能低的電流設(shè)定下打開(kāi)熱絲電流，然后逐步提高熱絲電流至所需值。這樣可減少因電流引入而產(chǎn)生的功率脈沖，并延長(zhǎng)熱絲壽命。

當(dāng)采用減低檢測(cè)器溫度以改善靈敏度時(shí)，會(huì)產(chǎn)生熱導(dǎo)池污染的問(wèn)題。還有，熱絲保持在低電流條件也會(huì)導(dǎo)致污染，因?yàn)樵谳^低電流條件下熱絲溫度也較低。如果熱導(dǎo)池被污染，用容積沖洗檢測(cè)器有助于出去冷凝物。

容積沖洗步驟：

a.將熱導(dǎo)池冷卻至室溫并取下色譜柱。

b.將隔墊至于檢測(cè)器入口的螺母或接頭組件上。

c.將螺母或接頭組件置于檢測(cè)器接頭上并擰緊。確認(rèn)有尾吹氣流。

d.通過(guò)隔墊向檢測(cè)器注射20-100ul甲苯或苯。注射容積總量至少1ml。不要向檢測(cè)器注射鹵代容積，如二氯甲烷或氯仿。

e.完成最后一次注射之后，允許尾吹氣繼續(xù)流動(dòng)10min或更長(zhǎng)時(shí)間。緩慢地增加熱導(dǎo)池的溫度，使其比正常操作溫度高20-30℃。

f.30min之后，將溫度降至正常值，并按正常情況安裝色譜柱。

熱清洗：柱流失或樣品臟產(chǎn)生的沉積物都回污染TCD?；€漂移、噪音增加或測(cè)試色譜圖響應(yīng)改變都表明有污染。只有當(dāng)你確認(rèn)載氣及氣路系統(tǒng)沒(méi)有泄漏且未被污染時(shí)，才可以進(jìn)行熱清洗或烘烤（加熱檢測(cè)器池體以蒸發(fā)掉污染物）。

觀察因樣品與燈絲相互作用產(chǎn)生的靈敏度下降，起源于氧氣污染載氣、泄漏或柱流失。樣品含有活性化合物，如酸和鹵代化合物，也能對(duì)熱絲產(chǎn)生化學(xué)損壞。若溫度太低，樣品冷凝也會(huì)污染檢測(cè)器熱導(dǎo)池。某些類型的污染物可以通過(guò)溫度烘烤除去。同樣在非模塊設(shè)計(jì)的檢測(cè)器中，由于溫度改變而產(chǎn)生的基線波動(dòng)可以通過(guò)保持檢測(cè)器溫度恒定而得到糾正。

2）NPD檢測(cè)器：NPD維護(hù)主要有銣珠維護(hù)、氣流、氣體純度、清洗和避免污染等。

a.銣珠維護(hù)：

NPD不很穩(wěn)定，需要經(jīng)常維護(hù)。許多參數(shù)中任何一項(xiàng)很小的變化都會(huì)改變NPD的性能特征。銣珠最需要維護(hù)。需要經(jīng)常更換，因此，一個(gè)備用的銣珠是必須的。

銣珠必須保持干燥，其貯存壽命限制為6個(gè)月。當(dāng)安裝新的銣珠時(shí)，緩慢升高檢測(cè)器溫度和微銣珠電流?？焖偌訜崮艿綄?dǎo)致銣珠破碎或裂開(kāi)，尤其當(dāng)銣珠在潮濕環(huán)境中貯存時(shí)，更是如此。已經(jīng)證實(shí)，較高的氫氣流速和銣珠電流將會(huì)縮短銣珠壽命。當(dāng)NPD不用時(shí)，應(yīng)當(dāng)降低或關(guān)閉氫氣流速和銣珠電流，以延長(zhǎng)銣珠壽命。在加熱的檢測(cè)器內(nèi)或當(dāng)銣珠有電流時(shí)，確保某種氣流存在。

銣珠壽命：為了延長(zhǎng)銣珠壽命，可采用下列措施：

a)     采用最低的使用調(diào)解補(bǔ)償或銣珠電壓

b)     運(yùn)行干凈樣品并保持進(jìn)樣口/襯管干凈以使污染最小

c)     不使用時(shí)，關(guān)閉銣珠電流

d)     保持高的檢測(cè)器溫度（320-350℃）

e)     在溶劑出峰過(guò)程中和運(yùn)行之間，關(guān)閉氫氣流速

f)     若NPD在高濕度環(huán)境中長(zhǎng)期不用，檢測(cè)器中可能積聚水。為了蒸發(fā)這些水，將檢測(cè)器溫迪設(shè)定至100℃，并保持30min，然后設(shè)定檢測(cè)器溫度150℃ ，并保持30min

b.氣流：氫氣、空氣及補(bǔ)充氣流速應(yīng)當(dāng)經(jīng)常測(cè)定。它們可隨時(shí)間的變化飄移，或在無(wú)征兆的情況下改變。每種氣體流速必須獨(dú)立測(cè)定以得到準(zhǔn)確的數(shù)值。NPD對(duì)于氣體流速的改變十分敏感，保持流速一致是維持性能不變所必需的。

c.氣體純度：NPD具有高靈敏度，因此需要很純的氣體（99.999%或更好）。強(qiáng)烈推薦載氣及所有檢測(cè)器氣體，包括檢測(cè)器氫氣、空氣及尾吹氣，都是用水分捕集阱及烴類捕集阱。臟的氣體不僅是色譜性能變差，而且將會(huì)縮短銣珠壽命。

d.清洗和更換：NPD需要進(jìn)行定期清洗。在大多數(shù)情況下，只包括清洗收集極和噴嘴。一般GC都配有刷子和金屬絲。刷子用于清掃噴嘴口的顆粒物。不要迫使太粗的金屬絲或探針進(jìn)入噴嘴口，否則噴嘴口將被破壞若噴嘴變形，將會(huì)導(dǎo)致靈敏度下降或峰形變差。用刷子清潔之后，可以用超聲波清洗各個(gè)部件。最終將需要更換噴嘴，因此，強(qiáng)烈推薦在手頭有備用的噴嘴。

經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的使用，來(lái)自于銣珠或樣品的殘留物將會(huì)積聚在收集極上，并導(dǎo)致基線問(wèn)題。在更換銣珠2-3次后，應(yīng)該清洗檢測(cè)器。

每次拆裝均會(huì)造成金屬墊片等的磨損。幾次拆裝之后（5次或更多次），密封環(huán)就可能無(wú)效導(dǎo)致基線不穩(wěn)。更換檢測(cè)器不見(jiàn)時(shí)一定要將檢測(cè)器溫度降低到室溫。

因?yàn)镹PD沒(méi)有任何火焰，其噴嘴不像FID噴嘴那樣收集二氧化硅和燃燒煙塵。雖然可以清洗噴嘴，但是簡(jiǎn)單的用新噴嘴取代臟噴嘴往往更加實(shí)用。清洗噴嘴記得用金屬絲，并且是清潔的，小心操作，千萬(wàn)不要損壞噴嘴的內(nèi)部，也可以使用超聲波清洗噴嘴。

e.污染：

使用NPD時(shí)還可能產(chǎn)生一些化學(xué)問(wèn)題。因?yàn)樗呛哿繖z測(cè)器，所以要小心操作，不要污染分析系統(tǒng)。

玻璃器皿：必須干凈，必須避免使用含磷去污劑，因此，推薦用酸洗滌玻璃器皿，然后用蒸餾水和溶劑沖洗。

溶劑：必須檢測(cè)溶劑純度。含氯溶劑及硅烷化試劑能降低堿鹽的使用壽命，可能時(shí)，應(yīng)該在進(jìn)樣之前除去過(guò)量溶劑。

其他污染源：含磷泄露探測(cè)器，經(jīng)磷酸處理的柱子和玻璃毛、聚酰亞胺涂覆柱、或含氮固定液能夠增加系統(tǒng)的噪音，應(yīng)該避免使用。

3）ECD檢測(cè)器：ECD檢測(cè)器含有放射性的⁶³Ni，對(duì)人體可能造成一定的傷害，維護(hù)需要小心操作，可進(jìn)行維護(hù)操作很少，主要是熱清洗。

熱清洗：若基線噪音增大或輸出值異常高，而已經(jīng)確認(rèn)問(wèn)題不是由于GC系統(tǒng)的泄露而致，那么，檢測(cè)器可能被柱流失污染，應(yīng)該對(duì)檢測(cè)器進(jìn)行熱清洗（烘烤）。

氣體純度：ECD檢測(cè)器載氣及吹掃氣要求非常清潔和干燥（99.9995%）。潮氣、氧氣或其他污染物可能改善靈敏度，但是會(huì)損失線性范圍。在色譜柱連接到檢測(cè)器之前，一定要預(yù)老化色譜柱。

警告：除熱清洗外，監(jiān)測(cè)器的拆卸和/或清洗操作只能由經(jīng)過(guò)培訓(xùn)并取得處理放射性物質(zhì)執(zhí)照的人員進(jìn)行。在其他清洗操作中，可能泄露痕量的放射性⁶³Ni，導(dǎo)致接觸可能有害的β和X^- 輻射。雖然β粒子在這個(gè)能級(jí)上幾乎沒(méi)有穿透力——皮膚表層或幾張紙將阻止其大部分，但是，如果同位素被咽下或吸入，它們將可能有害。當(dāng)檢測(cè)器不用時(shí)，入口及出口接頭必須蓋上，腐蝕性化合物不得引入檢測(cè)器。而且，檢測(cè)器的流出物必須放空至實(shí)驗(yàn)室環(huán)境之外。

4）FID檢測(cè)器：FID檢測(cè)器的維護(hù)工作大部分圍繞清洗噴嘴進(jìn)行。該檢測(cè)器應(yīng)用廣泛，靈敏度要求不是很高，在日常工作中幾乎不需要維護(hù)就可以保持令人滿意的性能；另外在平時(shí)需要不時(shí)地測(cè)定氫氣、空氣和尾吹氣流速，因?yàn)檫@些氣體流速會(huì)隨著時(shí)間而漂移，或者在沒(méi)有征兆的情況下發(fā)生改變，每一種氣流應(yīng)該獨(dú)立測(cè)定以確保得到最準(zhǔn)確的測(cè)量值，避免出現(xiàn)較大的保留時(shí)間漂移的不正常色譜現(xiàn)象。該檢測(cè)器使用必須保持在100度以上溫度并可維持火焰，避免冷凝水的產(chǎn)生，這是由于氫氣燃燒過(guò)程導(dǎo)致水形成，特別是當(dāng)與含氯溶劑或樣品結(jié)合時(shí)，可引起腐蝕且導(dǎo)致靈敏度下降。

噴嘴的清洗和更換：

即使正常使用，在噴嘴和檢測(cè)器中也會(huì)形成沉積物（通常由柱流失產(chǎn)生的白色二氧化硅或黑色碳灰），這些沉積物減低靈敏度并產(chǎn)生色譜噪音和毛刺。雖然可以通過(guò)清洗加以改善，但是通常更使用的做法是用新噴嘴取代臟的噴嘴。如果確實(shí)要清洗噴嘴，一定要小心，不要?jiǎng)潅麌娮靸?nèi)部，劃痕將會(huì)損壞噴嘴。

噴嘴清洗步驟：

1．用清洗金屬絲從噴嘴頂部穿入，插入拉出數(shù)次，直到金屬絲可光滑移動(dòng)，小心不要造成劃痕（不要迫使太粗的金屬絲或探針進(jìn)入噴嘴口，否則噴嘴口將被破壞。若噴嘴變形，將會(huì)導(dǎo)致靈敏度下降，峰形變差和/或點(diǎn)火困難）。

2．在超聲波清洗器中盛上水溶性洗滌劑，將噴嘴置于其中，超聲5分鐘。

3．使用噴嘴鉆孔器清洗噴嘴內(nèi)部。

4．在超聲5分鐘。

從現(xiàn)在起，只能用鑷子夾部件，不能用手。

5．從超聲器中取出噴嘴，先用熱自來(lái)水，然后用少量GC級(jí)甲醇徹底淋洗噴嘴。

6．用壓縮空氣或氮?dú)獯蹈蓢娮欤缓髮娮熘糜跐崈舻谋砻?，讓其風(fēng)干。

5）FPD檢測(cè)器：火焰光度檢測(cè)器的保養(yǎng)維護(hù)其實(shí)和FID檢測(cè)器差異不大，主要是清洗噴嘴工作，除此之外，F(xiàn)PD還需要清潔濾光片，一般濾光片都配有專用的清洗刷子，同樣其表面不能造成劃痕，濾光片和其他窗口部件必須保持潔凈以及沒(méi)有指紋。

6）MSD檢測(cè)器（質(zhì)譜檢測(cè)器）：在所有的檢測(cè)器中，MSD檢測(cè)器是清洗難度最大的，主要是由于各個(gè)不同廠家、不同型號(hào)的質(zhì)譜檢測(cè)器結(jié)構(gòu)不一樣、部件多、結(jié)果影響較大。但是作為質(zhì)譜檢測(cè)器而言，一般的保養(yǎng)維護(hù)工作主要是清洗離子源、更換電子倍增器、更換泵油（油擴(kuò)散泵、機(jī)械泵）等。同樣道理，不同廠家、不同型號(hào)的質(zhì)譜儀的保養(yǎng)維護(hù)步驟都不盡相同，但是一般步驟大致如下（詳細(xì)可參考產(chǎn)品說(shuō)明書）：

離子源清洗：

1．降低接口溫度、離子源溫度、四極桿溫度（以四極桿質(zhì)譜儀為例），關(guān)閉質(zhì)譜儀電源。

2．打開(kāi)卸壓閥，緩慢卸壓到常壓。

3．打開(kāi)離子源艙門（此步驟開(kāi)始最好佩帶口罩以及不掉毛手套）。

4．使用專用工具按照拆卸步驟將離子源整體取出放置在的清洗臺(tái)面。

5．使用專用工具將離子源各部件一一拆開(kāi)，分類整齊放置在清洗臺(tái)面，不需要拋光打磨的部件（如加熱快、絕緣體等）分開(kāi)放置。（此后可脫掉手套）